【製品仕様】
※詳細はカタログをダウンロード、または当社にお問合せください
【パッド形状】
スタンダード/深形/小形
スポンジ/ベローズ/多段ベローズ/長円
ソフト/ソフトベローズ/すべり止め/薄物用
フラット/吸着痕防止タイプ/ロングストロークタイプ
■ 精密吸着プレート
フッ素樹脂多孔質を採用。
フィルム・ガラスなどの極薄材料や軟材質でも
ワークを傷めず、吸着による歪みや変形も解消します
【用途例】
・光、磁気ディスクの搬送や貼り合わせ
・液晶ガラス、フィルム基盤の搬送や貼り合わせ
・ウエハのスピンナー、ポリッシング、搬送 など
ニーズにあわせて豊富な種類の中から選定できます。
タイで真空システム機器をお探しの方は、当社にご相談ください。