モデル
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測定範囲
500/400/400
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測定精度 (µm)* *仕様は構成・サイズおよび温度環境により異なる場合があります。
E0 = 1.7+3L/1000
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案内方式
Air bearings on each axis
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移動速度
Drive speed each axis: 8 - 300 (max. combined speed: 519) Measuring speed: 1 - 8
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移動速度
Each axis: 1333 (max. combined acceleration: 2309)
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分解能
0.0001
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測定テーブル
Granite / 638×860
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ワーク最大高さ (mm) / 最大質量 (kg)
545 mm. / 180 kg.
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本体寸法 (mm) 高さ / 幅 / 奥行き
2185×1082×1191
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質量 (kg)〈設置台および制御装置を含み、ワークを除く〉
542.0
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電源仕様 – 電圧、周波数 / 消費電力(プローブオプション I/F 含む)
100 - 120/220 - 240 VAC±10%, 50/60 Hz | 0.6 kW
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エア供給 – 圧力 / 消費量
0.4 MPa (4 kgf/cm2 ) / 50 L/min under normal conditions (air source: 100 L/min)
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使用温度範囲
10 - 30 °C