モデル
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測定範囲
500/700/400
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測定精度 (µm)* *仕様は構成・サイズおよび温度環境により異なる場合があります。
E0 = 0.7+2.5L/1000
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案内方式
Air bearings on each axis
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移動速度
Maximum Drive Speed 3D 519 mm/s
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移動速度
Maximum Acceleration 3D 0.17G (2,309 mm/s2)
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分解能
5e-05
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測定テーブル
Granite / 676 x 1420
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ワーク最大高さ (mm) / 最大質量 (kg)
560 mm. / 180 kg.
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本体寸法 (mm) 高さ / 幅 / 奥行き
1270x1700x2410
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質量 (kg)〈設置台および制御装置を含み、ワークを除く〉
1530.0
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電源仕様 – 電圧、周波数 / 消費電力(プローブオプション I/F 含む)
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エア供給 – 圧力 / 消費量
0.4 MPa (4 kgf/cm2 ) / 60 L/min under normal conditions (air source: 120 L/min)
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使用温度範囲
18 - 22 °C