モデル
LEGEX 500
LEGEX 700
LEGEX 900
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測定範囲
500/700/400
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測定精度 (µm)* *仕様は構成・サイズおよび温度環境により異なる場合があります。
19-21°C (66.2-69.8°F)
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案内方式
Air bearings on each axis
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移動速度
Maximum Drive Speed 3D 200 mm/s
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移動速度
Maximum Acceleration 3D 0.1G (980 mm/s2)
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分解能
0.01µm
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測定テーブル
Cast Iron with Ceramic Coating / 550 x 750
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ワーク最大高さ (mm) / 最大質量 (kg)
700 mm. / 250 kg.
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本体寸法 (mm) 高さ / 幅 / 奥行き
2630x1470x2430
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質量 (kg)〈設置台および制御装置を含み、ワークを除く〉
3500.0
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電源仕様 – 電圧、周波数 / 消費電力（プローブオプション I/F 含む）
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エア供給 – 圧力 / 消費量
58.0 PSI (0.5MPa) / 120 L/min under normal conditions (air source: 160 L/min)
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使用温度範囲
18 - 22 °C
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製品：
LEGEX
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