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LEGEX

モデル

LEGEX 500

LEGEX 700

LEGEX 900

製品仕様

測定範囲
500/700/400
測定精度 (µm)* *仕様は構成・サイズおよび温度環境により異なる場合があります。
19-21°C (66.2-69.8°F)
案内方式
Air bearings on each axis
移動速度
Maximum Drive Speed 3D 200 mm/s
移動速度
Maximum Acceleration 3D 0.1G (980 mm/s2)
分解能
0.01µm
測定テーブル
Cast Iron with Ceramic Coating / 550 x 750
ワーク最大高さ (mm) / 最大質量 (kg)
700 mm. / 250 kg.
本体寸法 (mm) 高さ / 幅 / 奥行き
2630x1470x2430
質量 (kg)〈設置台および制御装置を含み、ワークを除く〉
3500.0
電源仕様 – 電圧、周波数 / 消費電力（プローブオプション I/F 含む）
-
エア供給 – 圧力 / 消費量
58.0 PSI (0.5MPa) / 120 L/min under normal conditions (air source: 160 L/min)
使用温度範囲
18 - 22 °C

その他詳細

-

製品仕様

測定範囲
700/700/400
測定精度 (µm)* *仕様は構成・サイズおよび温度環境により異なる場合があります。
19-21°C (66.2-69.8°F)
案内方式
Air bearings on each axis
移動速度
Maximum Drive Speed 3D 200 mm/s
移動速度
Maximum Acceleration 3D 0.1G (980 mm/s2)
分解能
0.01µm
測定テーブル
Cast Iron with Ceramic Coating / 750 x 750
ワーク最大高さ (mm) / 最大質量 (kg)
700 mm. / 250 kg.
本体寸法 (mm) 高さ / 幅 / 奥行き
2630x1670x2430
質量 (kg)〈設置台および制御装置を含み、ワークを除く〉
5000.0
電源仕様 – 電圧、周波数 / 消費電力（プローブオプション I/F 含む）
-
エア供給 – 圧力 / 消費量
58.0 PSI (0.5MPa) / 120 L/min under normal conditions (air source: 160 L/min)
使用温度範囲
18 - 22 °C

製品仕様

測定範囲
900/1000/600
測定精度 (µm)* *仕様は構成・サイズおよび温度環境により異なる場合があります。
19-21°C (66.2-69.8°F)
案内方式
Air bearings on each axis
移動速度
Maximum Drive Speed 3D 200 mm/s
移動速度
Maximum Acceleration 3D 0.1G (980 mm/s2)
分解能
0.01µm
測定テーブル
Cast Iron with Ceramic Coating / 950 x 1050
ワーク最大高さ (mm) / 最大質量 (kg)
850 mm. / 800 kg.
本体寸法 (mm) 高さ / 幅 / 奥行き
3050x1870x3030
質量 (kg)〈設置台および制御装置を含み、ワークを除く〉
6500.0
電源仕様 – 電圧、周波数 / 消費電力（プローブオプション I/F 含む）
-
エア供給 – 圧力 / 消費量
58.0 PSI (0.4MPa) / 120 L/min under normal conditions (air source: 160 L/min)
使用温度範囲
18 - 22 °C

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